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NAC010系列NAC系列纳米精度运动控制器，是基于VME 总线的全自研纳米级运动控制系统，可在高速高加速下实现0.5-5nm定位精度与毫秒级稳定时间，为半导体核心制造设备的工件台、掩模台提供超精密、高精度运动控制解决方案。 
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产品特点 01纳米级定位精度 在高速、高加速运动条件下,实现0.5-5nm的超高定位精度，满足半导体制造的极致精度要求。 02全自研硬件平台 硬件系统全线自研，采用200kHz控制频率与10kHz控制带宽，实现跨尺度测量控制与低纹波、高带宽驱动设计。 03微秒级同步精度 通过并行伺服控制与VME/SBC/HSSL总线架构，实现多轴同步精度优于10ns，保障复杂运动 协同。 04国产化核心应用 可为半导体核心制造设备的工件台、掩模台提供超精密、高精度的运动控制，助力高端装备自主可控。 |
